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単結晶カット面方位検査機 SCO-a

簡単な操作で単結晶カット面偏差角がX線回折法により
精度よく測定できる装置です。
  結果は偏差角(最少角0.001°)で標示されます。  
測定角度再現精度は0.1°角度再現精度は±0.01°程度です。   
結晶の測定方位面(hkl)が分かっている試料について予めX線入射角・回折線角(2θ)を設定します。
偏差角を計測する角度範囲(ω 最大±10°)を走査してしてロッキングカーブ計測を行います。
観測回折線の半価幅中点法で、偏差角を求めます。
試料面法線まわりに180°回転(手動)測定を行いピーク検出を  入力すると偏差角を計算して表示します。
   
 
 構成
ベースユニット X線管・スリットと検出器を測定方位面(hkl)に対応する回折線角度(2θ)に設定機構とω回転機構   
X線発生装置(高圧電源)、計測計・制御(パソコン)部、試料台を設置し、防X線カバーとなる筐体部で構成されます。
試料台(選択品) ウエハー(ノッチ・オリフラ)用、インゴット用 各専用です。  
標準最大Φ200mmまでを用意しています。         
Φ300mm用はオプション
   
   
 
       
・ウエハー方位測定試料台 Φ50 Φ100 Φ150 Φ200
 ノッチ・オリフラ用


 位置決め デルリンローラ
 ノッチ受けキー オリフラ受台又は位置決めピン
   
       
・ウエハー面方位測定用
 ウエハー搭載面 硬質アルミナ処理    
 ウエハー当金具で位置決め
   
     
ウエハーΦ300mm試料台はオプション。   
ベースユニットの改造を伴います。
   
・インゴット周面方位測定用試料台
   
       
       
 
 仕様:X線回折計
X線発生装置 出力 25kV 1mA 固定 X線管 Cu 焦点0.3mmΦ
X線検出器 NaIシンチレーションカウンター
光学系部 X線窓シャッター
回折線設定角度範囲 15°~140°(2θ)
計測制御部 計測計 HV/PHA ω角駆動・計測制御
回折線プロファイル測定・方位角偏差角度算定表示
安全保証
(フェールセーフ)
X線窓シャッター開閉・X線ON/OFF・試料室扉開閉検知
筐体部全周 漏洩X線完全遮蔽構造         
漏洩X線量 装置全周のいずれも 0.2μSv/h以下
電源 ACアダプター I/P AC100-240V 50/60Hz O/P DC24V 160W
 
届出:本装置の使用には電離放射線障害防止規則、労働安全衛生規則に基づいて、装置設置の30日前までに所轄の労働基準監督署、人事院・人事委員会に届け出が必要です。本装置は、X線管理区域を装置外に設定する必要が無く、X線作業主任者の選任の必要がありません。

本機の外観・デザインは予告なく変更することがあります。


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