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Siウエハー判別機 SCO-c

Siウエハー 1.0.0 (ノッチ)方位か?
1秒で判別 モニター標示。
測定時間、簡単操作にこだわった判定機です。
 
 
Siウエハー(ノッチ・オリフラ) Φ300mm,Φ200mm
ステージの所定位置にセット
測定開始ボタンを押す
1,0.0ウエハーならば モニターに標示(2秒後)
 
Siウエハー面方位測定
水平ステージ台にセット
測定開始ボタンを押す
1,0.0ならば モニターに標示(2秒後)
 
本機は[ 1..0.0 ]判定専用機です。 [1.1.0] [1.1.1]などには、設定の変更が必要です。
 
 
SCO-c 試料台
  試料台は Φ300mm ウエハー専用です。    
計測時に試料台(試料)は動かず、固定のまま試料結晶を試料台に設置、固定したまま測定にこだわりました。
Φ300mmとΦ200mm 共用試料台はオプションです。
 
・ウエハー端面(ノッチ)方位測定

 位置決め デルリンローラ
 下部にノッチ受けキー部
   
       
・ウエハー面方位測定用
 ウエハー搭載面 硬質アルミナ処理    
 ウエハー当金具で位置決め
   
 
 仕様:Siウエハー1.0.0面判別機
X線発生装置 出力 25kV 1mA 固定 X線管 Cu 焦点0.3mmΦ
X線検出器 NaIシンチレーションカウンター
光学系部 Si[100(400)]及び[110(220)]回折線検出並行配置
X線窓シャッター
計測操作モニター 計測ON/OFF  計測結果表示
試料ステージ Siウエハー300mmφ・ノッチ測定 縦型設置、
   同       面方位測定 水平設置
安全保証
(フェールセーフ)
X線窓シャッター開閉・X線ON/OFF・試料室扉開閉検知
筐体部全周 金属製による漏洩X線完全遮蔽構造         
漏洩X線量 装置全周のいずれも 0.2μSv/h以下
電源 ACアダプター I/P AC100-240V 50/60Hz O/P DC24V 160W
 
届出:本装置の使用には電離放射線障害防止規則、労働安全衛生規則に基づいて、装置設置の30日前までに所轄の労働基準監督署、人事院・人事委員会に届け出が必要です。本装置は、X線管理区域を装置外に設定する必要が無く、X線作業主任者の選任の必要がありません。

本機の外観・デザインは予告なく変更することがあります。


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